滑閥式真空泵工作原理
滑閥式油封機(jī)械泵（簡(jiǎn)稱滑閥泵）同旋片泵一樣，也是一種變?nèi)菔綒怏w傳輸泵，但是滑閥真空泵和2X旋片真空泵相比，耐用高出好幾倍。其和范圍和使用條件與旋片泵基本相同。滑閥真空泵目前分為單級(jí)H型和雙極2H型兩種型號(hào)，比較老的還有MH，1401系列，目前基本淘汰。
滑閥泵由于其結(jié)構(gòu)特點(diǎn)，容量比旋片泵大得多，因此常常被用在大型真空設(shè)備上。滑閥泵有單級(jí)和雙級(jí)兩種型式。單級(jí)泵的極限壓力對(duì)小泵≤0.6Pa，對(duì)大泵≤1.3Pa（均關(guān)氣鎮(zhèn)），雙級(jí)泵的極限壓力≤0.06Pa（關(guān)氣鎮(zhèn)）。目前雙極2H滑閥真空泵最大抽速為300L/S。
由于滑閥泵的旋轉(zhuǎn)質(zhì)量有較大的偏心，如果滑閥沒有很好的質(zhì)量平衡，在運(yùn)轉(zhuǎn)時(shí)會(huì)產(chǎn)生較大的振動(dòng)。但泵旋轉(zhuǎn)質(zhì)心的運(yùn)動(dòng)軌跡是形狀復(fù)雜的封閉曲線，因此小廠很難實(shí)現(xiàn)對(duì)滑閥泵慣性力的完全平衡。可以通過(guò)動(dòng)平衡測(cè)試和雙缸或三缸結(jié)構(gòu)做好滑閥的質(zhì)量平衡。
